巴魯夫BALLUFF位移傳感器由機(jī)械結(jié)構(gòu)上可以看出，影響振子振動(dòng)主要有兩個(gè)方面：一是片簧彎曲作用力對(duì)它的影響，但從計(jì)算?中可以知道，片簧產(chǎn)生的力比較小，從而使得片簧自振對(duì)振子振動(dòng)影響很小；二是支撐彈簧的自振對(duì)它的影響，由于彈簧與振子是直接接觸的并且彈簧受到壓縮產(chǎn)生的彈力比較大，巴魯夫BALLUFF位移傳感器如果自振頻率高于需要測(cè)的振動(dòng)頻率，那么就會(huì)影響振子振動(dòng)的頻率_5_5。裝置中用來(lái)支撐振子平衡的六個(gè)彈簧對(duì)振子的振動(dòng)是有影響的，巴魯夫BALLUFF位移傳感器當(dāng)然也會(huì)對(duì)測(cè)量結(jié)果?產(chǎn)生一定的誤差，這個(gè)影響主要是由于彈簧的自振對(duì)其影響比較大而造成的。

巴魯夫BALLUFF位移傳感器在機(jī)械結(jié)構(gòu)的空間設(shè)計(jì)上，三維互相對(duì)稱的結(jié)構(gòu)保證了三維測(cè)量的情況盡量接近l2 J。在設(shè)計(jì)中，主要考慮了以下幾個(gè)方面：一是振子 的平衡問題；二是振子的振動(dòng)特性；三是如何能同時(shí) 測(cè)量三個(gè)方向上的振動(dòng)情況而各個(gè)方向卻互不影響； 四是片簧以及彈簧對(duì)振子的影響。巴魯夫BALLUFF位移傳感器三組彈簧也就是每一維方向上兩個(gè)彈簧來(lái)支撐，前后 左右的四個(gè)彈簧無(wú)論長(zhǎng)度與粗細(xì)都是一樣的，上下兩 個(gè)彈簧長(zhǎng)度不同，但粗細(xì)也就是倔強(qiáng)系數(shù)是相同的。 這三組彈簧對(duì)振子起到支撐作用的主要是上下兩個(gè)彈 簧，前后左右四個(gè)是保持其振動(dòng)的平衡性，巴魯夫BALLUFF位移傳感器還可以通 過調(diào)節(jié)螺栓1(每個(gè)方向上都有2個(gè))來(lái)保證振子處于某個(gè)平衡的位置。

巴魯夫BALLUFF位移傳感器現(xiàn)在測(cè)量一維振動(dòng)的傳 感器很多，采用的方式也很多，但是應(yīng)用在微振動(dòng)和 低頻振動(dòng)的卻比較少，而測(cè)量三維振動(dòng)的傳感器就更 不多了。現(xiàn)有的測(cè)量三維瞬間振動(dòng)和低頻振動(dòng)的測(cè)振 儀，主要應(yīng)用在爆破測(cè)試方面，而測(cè)三維加速度的傳 感器，測(cè)量和記錄三個(gè)方面的沖擊振動(dòng)，主要運(yùn)用在公路運(yùn)輸和貨物運(yùn)輸?shù)确矫妗０汪敺駼ALLUFF位移傳感器這些三維測(cè)振傳感器主 要是壓電式，測(cè)高頻振動(dòng)和瞬間沖擊的效果很好；因?yàn)榘雽?dǎo)體應(yīng)變片作為力敏器件的一種， 其自身具有靈敏度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、測(cè)量精度高、穩(wěn) 定性好、功耗低、壽命長(zhǎng)、抗干擾性強(qiáng)、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)，巴魯夫BALLUFF位移傳感器能有效地測(cè)量微振動(dòng)和低幅振動(dòng)，而且體積比 較小，小于0．3m3，基本上實(shí)現(xiàn)了微型化，可以應(yīng)用 在一些需要測(cè)量三維振動(dòng)的微工作臺(tái)和精密加工等方面。